Measuring and Processing System for Signals from Magnetic Induction Sensor of Inertial Piezoelectric Drive

Gulyaev P.V., Shelkovnikov E.Y., Tyurikov A.V., Seletkov S.G., Osipov N.I., Kiznertsev S.R.

Abstract


Questions of reception and processing of data taken from magnetic induction speed sensor for linear displacements, integrated into the inertial piezoelectric drive, are investigated in the paper. Layout and operation of the sensor are described, time diagrams are shown. Noise features specific for this sensor are described, means of noise suppression and compensation are proposed.

Keywords


inertial piezoelectric drive; magnetic induction speed sensor; noise-immunity; filtration; signal processing

References References

Anders M., Thaer M., Heiden C. Simple micropositioning devices for STM // Surface Science. - 1987. - Vol. 181. - No. 1-2. - P. 176-182.

Пат. 2297072 Российская Федерация. Инерционный двигатель. № 2005134280/28 ; заявл. 08.11.2005 ; опубл. 10.04.2007. Бюл. № 10.

Липанов А. М., Гуляев П. В., Шелковников Е. Ю. Прецизионный пьезодвигатель наноперемещений для сканирующего туннельного микроскопа // Датчики и системы. - 2004. - № 9. - С. 30-33.

Высокоточный инерционный пьезоэлектрический привод вращательно-поступального типа <http://elibrary.ru/item.asp?id=15183681> / П. В.Гуляев [и др.] // Электротехника. - 2010. - № 10. - С. 8-11.

Инерционный пьезоэлектрический шаговый привод субнанометровой точности / А. М. Липанов [и др.] // ПТЭ. - 2009. - № 5. - С. 121-122.

Zhigang Yang Impact drive rotary precision actuator with piezoelectric bimorphs / Hongzhuang Zhang [et al.] // Front. Mech. Eng. China. - 2008. - No. 3(1). - P. 71-75.

Построение изображений поверхности при многокадровом режиме сканирующего туннельного микроскопа / Ю. К. Шелковников [и др.] // Химическая физика и мезоскопия. - 2008. - Т. 10. - № 4. - С. 514-520.

Формирование наноперемещений пьезоэлектрическим осциллятором и кинематической парой вращения <http://www.udman.ru/iam/ru/node/2753> / А. М. Липанов [и др.] // Письма в ЖТФ. - 2011. - Т. 37. - № 15. - С. 55-61.


Article Metrics

Metrics Loading ...

Metrics powered by PLOS ALM


Copyright (c) 2012 Bulletin of Kalashnikov ISTU

Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International License.


ISSN 1813-7903 (Print)
ISSN 2413-1172 (Online)