ПОВЫШЕНИЕ ПЛОТНОСТИ МОЩНОСТИ В ЭЛЕКТРОННЫХ И ИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРАХ
Ключевые слова:
прецизионная фокусировка, пучки заряженных частиц, ионный источник, электронная оптикаАннотация
Рассматривается возможность повышения плотности мощности в устройствах электронной и ионной оптики на основе линейно протяженного источника заряженных частиц и аксиально-симметричного магнитного фокусирующего поля.Библиографические ссылки
Матюхин С. И. Ионная имплантация : Новые возможности известного метода // Известия ОрелГТУ. – 2003. – № 1-2. – С. 59–62. – Серия «Естественные науки».
Патент на изобретение № 2427056. Фокусирующая система (варианты) / Е. А. Морозов, И. Н. Ефимов. – Зарег. в Гос. реестре изобретений РФ 20.08.2011.
Морозов Е. А., Косов Е. С. О возможности высокоточной фокусировки ионных потоков большой мощности // Интеллектуальные системы в производстве. – 2012. – № 1(19). – С. 158–165.
Патент на изобретение № 2389105. Устройство создания ионных потоков / Е. А. Морозов, И. Н. Ефимов. – Зарег. в Гос. реестре изобретений РФ 10.05.2010.
Анализ поверхности методами ожеи рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии / М. П. Сих, Д. Бригс, Дж. К. Ривьер [и др.] ; под ред. Д. Бригса, М. П. Сиха. – М. : Мир, 1987. – 600 с.
Морозов Е. А. Расчет энергоанализаторов малогабаритных электронных магнитных спектрометров : дис. … канд. физ.-мат. наук. – Ижевск, 1996. – 122 с.
Хазова Р. А. Расчет параметров магнитного поля энергоанализатора и систем компенсации электронного магнитного спектрометра высокой светосилы : дис. … канд. физ.-мат. наук. – Ижевск, 1999. – 101 с.
