ИССЛЕДОВАНИЕ ТОПОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ СИТАЛЛА МЕТОДОМ ПОЛУКОНТАКТНОЙ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ - Алексеев, Владимир Александрович; Бесогонов, Валерий Валентинович; Скворцова, Ирина Николаевна; Або Исcа Никола; Мусса, Иссам (Интеллектуальные системы в производстве, 2011)
Представлены результаты исследования топологии поверхности ситалловой подложки СТ-50-1 после воздействия на нее СО2-лазерного излучения. Получены трехмерные изображения с помощью сканирующего зондового микроскопа Solver P47 Pro в режиме полуконтактной атомно-силовой микроскопии. Проведен анализ полученных изображений.