Гуляев ПВ, Шелковников ЮК, Кириллов АИ, Ермолин КС. Особенности применения приводов сближения при использовании туннельного микроскопа для технологического контроля поверхности. Интеллект. сист. произв. [Интернет]. 2 июль 2018 г. [цитируется по 22 декабрь 2024 г.];16(2):48-55. доступно на: https://izdat.istu.ru/index.php/ISM/article/view/4084