РАСЧЕТ ЕМКОСТЕЙ МЕТАЛЛИЗИРУЕМЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ - Данилов, Юрий Валентинович; Подкин, Юрий Германович (Вестник ИжГТУ имени М.Т. Калашникова, 2014)
Проведен сравнительный анализ трудоемкости методов расчета емкостей сложных металлизируемых поверхностей, применяемых в технологиях гальванической металлизации и микроэлектромеханических систем. Показано, что в 2D-приближении наиболее эффективен метод Монте-Карло. Разработан алгоритм применения этого метода для расчета емкостей плоских поверхностей с учетом краевых эффектов.