Capability of high-precision focusing of high power ion beams
Keywords:
ion source, ion gun, field-emission ion source, high-precision focusing, ion beams, ion implantation, electron opticsAbstract
Capabilities of focus systems for generating high energy and power ion beams in microvolumes are analyzed. Advantage of applying linearly extended ion sources and axial symmetric magnetic focus fields is substantiated.References
Физическая энциклопедия / гл. ред. А. М. Прохоров. - М. : Большая Рос. энцикл., 1992. - Т. 2. - С. 197-199.
Рудаков Л. И. Сильноточные пучки заряженных частиц // Сорос. образоват. журн. - 1996. - № 2. - С. 105-110. - URL: <http://www.pereplet.ru/nauka/Soros/pdf/9602_105.pdf> (дата обращения: 24.04.2012).
Сивухин Д. В. Общий курс физики : в 5 т. - 4-е изд., стер. - М. : Физматлит ; Изд-во МФТИ, 2004. - Т. 3 : Электричество. - 656 с. - URL: http://dwl.alleng.ru/d_ar/phys/phys105.zip (дата обращения: 24.04.2012).
Зигбан К., Нордлинг К. Электронная спектроскопия / пер. с англ. - М. : Мир, 1973. - 493 с.
Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии / под ред. Д. Бригса, М. П. Сиха. - М. : Мир, 1987. - 600 с.
Ефимов И. Н., Морозов Е. А. О возможности значительного увеличения тока жидкометаллического ионного источника // Интеллектуал. системы в пр-ве. - 2010. - № 1. - C. 300-303.
Ефимов И. Н., Морозов Е. А. Каноническое интегрирование динамических систем. - Екатеринбург ; Ижевск : Изд-во Ин-та экономики УрО РАН, 2006. - 196 с.
Фокусирующая система (варианты) : пат. 2427056 Рос. Федерация / Е. А. Морозов, И. Н. Ефимов ; заявл. 20.08.11.
Устройство создания ионных потоков : пат. 2389105 Рос. Федерация / Е. А. Морозов, И. Н. Ефимов ; заявл. 10.05.10.
Горизонты петаваттных лазерных комплексов / А. В. Коржиманов, А. А. Гоносков, Е. А. Хазанов и др. // Успехи физ. наук. - 2011. - Т. 181. - С. 9-32.
