СИСТЕМА ИЗМЕРЕНИЯ И ОБРАБОТКИ СИГНАЛОВ С МАГНИТОИНДУКЦИОННОГО ДАТЧИКА ИНЕРЦИОННОГО ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПРИВОДА
Ключевые слова:
инерционный пьезопривод, магнитоиндукционный датчик скорости, помехоустойчивость, фильтрация, обработка сигналовАннотация
Исследованы вопросы приема и обработки данных с магнитоиндукционного датчика скорости линейных перемещений, интегрированного в инерционный пьезоэлектрический привод. Описаны его конструкция, работа, приведены временные диаграммы. Рассмотрены присущие этому датчику особенности помех, предложены средства их подавления и компенсации.Библиографические ссылки
Anders M., Thaer M., Heiden C. Simple micropositioning devices for STM // Surface Science. - 1987. - Vol. 181. - No. 1-2. - P. 176-182.
Пат. 2297072 Российская Федерация. Инерционный двигатель. № 2005134280/28 ; заявл. 08.11.2005 ; опубл. 10.04.2007. Бюл. № 10.
Липанов А. М., Гуляев П. В., Шелковников Е. Ю. Прецизионный пьезодвигатель наноперемещений для сканирующего туннельного микроскопа // Датчики и системы. - 2004. - № 9. - С. 30-33.
Высокоточный инерционный пьезоэлектрический привод вращательно-поступального типа <http://elibrary.ru/item.asp?id=15183681> / П. В.Гуляев [и др.] // Электротехника. - 2010. - № 10. - С. 8-11.
Инерционный пьезоэлектрический шаговый привод субнанометровой точности / А. М. Липанов [и др.] // ПТЭ. - 2009. - № 5. - С. 121-122.
Zhigang Yang Impact drive rotary precision actuator with piezoelectric bimorphs / Hongzhuang Zhang [et al.] // Front. Mech. Eng. China. - 2008. - No. 3(1). - P. 71-75.
Построение изображений поверхности при многокадровом режиме сканирующего туннельного микроскопа / Ю. К. Шелковников [и др.] // Химическая физика и мезоскопия. - 2008. - Т. 10. - № 4. - С. 514-520.
Формирование наноперемещений пьезоэлектрическим осциллятором и кинематической парой вращения <http://www.udman.ru/iam/ru/node/2753> / А. М. Липанов [и др.] // Письма в ЖТФ. - 2011. - Т. 37. - № 15. - С. 55-61.