РАСЧЕТ ЕМКОСТЕЙ МЕТАЛЛИЗИРУЕМЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Авторы

  • Ю. В. Данилов Сарапульский политехнический институт (филиал) ИжГТУ имени М. Т. Калашникова
  • Ю. Г. Подкин Сарапульский политехнический институт (филиал) ИжГТУ имени М. Т. Калашникова

Ключевые слова:

гальваническая металлизация, емкости плоских поверхностей, краевые эффекты

Аннотация

Проведен сравнительный анализ трудоемкости методов расчета емкостей сложных металлизируемых поверхностей, применяемых в технологиях гальванической металлизации и микроэлектромеханических систем. Показано, что в 2D-приближении наиболее эффективен метод Монте-Карло. Разработан алгоритм применения этого метода для расчета емкостей плоских поверхностей с учетом краевых эффектов.

Биографии авторов

Ю. В. Данилов, Сарапульский политехнический институт (филиал) ИжГТУ имени М. Т. Калашникова

кандидат технических наук, доцент кафедры «Конструирование и производство радиоаппаратуры»

Ю. Г. Подкин, Сарапульский политехнический институт (филиал) ИжГТУ имени М. Т. Калашникова

доктор технических наук, профессор, заведующий кафедрой «Конструирование и производство радиоаппаратуры»

Библиографические ссылки

Zhu G., Packirisamy M., Hosseini M, Yves-Alain P. Modelling and control of an electrostatically actuated torsional micromirror // Journal Micromechanics and Microengineering. - 2006. - No. 16. - Pp. 2044-2052.

Доржиев В. Ю., Драгунов В. П., Остертак Д. И. Расчет емкости МЭМС в 2D-приближении : сб. науч. тр. НГТУ. - 2010. - № 4(62). - С. 73-80.

Загрузки

Опубликован

15.12.2014

Как цитировать

Данилов, Ю. В., & Подкин, Ю. Г. (2014). РАСЧЕТ ЕМКОСТЕЙ МЕТАЛЛИЗИРУЕМЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ. Вестник ИжГТУ имени М.Т. Калашникова, (4), 110–113. извлечено от https://izdat.istu.ru/index.php/vestnik/article/view/2331

Выпуск

№ 4 (2014)

Раздел

Статьи