ПОВЫШЕНИЕ ПЛОТНОСТИ МОЩНОСТИ В ЭЛЕКТРОННЫХ И ИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРАХ

E S Kosov

Authors

E. S. Kosov Kalashnikov Izhevsk State Technical University

Keywords:

high-precision focusing, charged beams, ion source, electron optics

Abstract

The capabilities of rising the power density in electron and ion optic devices via linearly extended ion source and axial symmetric magnetic focus fields are analyzed.

Author Biography

E. S. Kosov, Kalashnikov Izhevsk State Technical University

Post-graduate

References

Матюхин С. И. Ионная имплантация : Новые возможности известного метода // Известия ОрелГТУ. – 2003. – № 1-2. – С. 59–62. – Серия «Естественные науки».

Патент на изобретение № 2427056. Фокусирующая система (варианты) / Е. А. Морозов, И. Н. Ефимов. – Зарег. в Гос. реестре изобретений РФ 20.08.2011.

Морозов Е. А., Косов Е. С. О возможности высокоточной фокусировки ионных потоков большой мощности // Интеллектуальные системы в производстве. – 2012. – № 1(19). – С. 158–165.

Патент на изобретение № 2389105. Устройство создания ионных потоков / Е. А. Морозов, И. Н. Ефимов. – Зарег. в Гос. реестре изобретений РФ 10.05.2010.

Анализ поверхности методами ожеи рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии / М. П. Сих, Д. Бригс, Дж. К. Ривьер [и др.] ; под ред. Д. Бригса, М. П. Сиха. – М. : Мир, 1987. – 600 с.

Морозов Е. А. Расчет энергоанализаторов малогабаритных электронных магнитных спектрометров : дис. … канд. физ.-мат. наук. – Ижевск, 1996. – 122 с.

Хазова Р. А. Расчет параметров магнитного поля энергоанализатора и систем компенсации электронного магнитного спектрометра высокой светосилы : дис. … канд. физ.-мат. наук. – Ижевск, 1999. – 101 с.