ИССЛЕДОВАНИЕ ТОПОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ СИТАЛЛА МЕТОДОМ ПОЛУКОНТАКТНОЙ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ
Ключевые слова:
ситалл, сканирующая зондовая микроскопия, топология поверхностиАннотация
Представлены результаты исследования топологии поверхности ситалловой подложки СТ-50-1 после воздействия на нее СО2-лазерного излучения. Получены трехмерные изображения с помощью сканирующего зондового микроскопа Solver P47 Pro в режиме полуконтактной атомно-силовой микроскопии. Проведен анализ полученных изображений.Библиографические ссылки
Бесогонов В. В., Скворцова И. Н. Прецизионный контроль топологии поверхности ситалловых подложек СТ 50-1 // Измерит. техника. - 2010. - № 3. - С. 68-70.
Миронов В. Л. Основы сканирующей зондовой микросокпии : учеб. пособие для вузов / Ин-т физики микроструктур РАН (Нижний Новогород). - М. : Техносфера, 2004. - 144 с. - (Мир физики и техники). URL: <http://depositfiles.com/ru/files/26d6aiis0> (дата обращения: 29.04.2011).
Бахтизин Р. З., Галлямов Р. Р. Физические основы сканирующей зондовой микроскопии : учеб. пособие. - Уфа : РИО БашГУ, 2003. - 82 с.
Загрузки
Опубликован
15.03.2011
Как цитировать
Алексеев, В. А., Бесогонов, В. В., Скворцова, И. Н., Або Исcа Н., & Мусса, И. (2011). ИССЛЕДОВАНИЕ ТОПОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ СИТАЛЛА МЕТОДОМ ПОЛУКОНТАКТНОЙ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ. Интеллектуальные системы в производстве, 6(1), 172–177. извлечено от https://izdat.istu.ru/index.php/ISM/article/view/1787
Выпуск
Раздел
Статьи