ИССЛЕДОВАНИЕ ТОПОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ СИТАЛЛА МЕТОДОМ ПОЛУКОНТАКТНОЙ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ

V. A. Alekseev; V. V. Besogonov; I. N. Skvortsova; Nikola Abo Issa; Issam Moussa

Authors

V. A. Alekseev Izhevsk State Technical University
V. V. Besogonov Institute of Applied Mechanics UB RAS
I. N. Skvortsova Institute of Applied Mechanics UB RAS
N. A. Issa Damascus University, Syria
I. Moussa Damascus University, Syria

Keywords:

glass ceramics, scanning probe microscopy, surface topology

Abstract

The results of the surface topology study of a glass ceramic СТ-50-1 substrate after the effect of СО2-laser radiation are presented. Three-dimensional images using a scanning probe microscope Solver P47 Pro in a tapping mode of the atomic-force microscopy are obtained. The analysis of the images obtained has been carried out.

Author Biographies

V. A. Alekseev, Izhevsk State Technical University

; Izhevsk State Technical University

V. V. Besogonov, Institute of Applied Mechanics UB RAS

; Institute of Applied Mechanics UB RAS

I. N. Skvortsova, Institute of Applied Mechanics UB RAS

; Institute of Applied Mechanics UB RAS

N. A. Issa, Damascus University, Syria

; Damascus University, Syria

I. Moussa, Damascus University, Syria

; Damascus University, Syria

References

Бесогонов В. В., Скворцова И. Н. Прецизионный контроль топологии поверхности ситалловых подложек СТ 50-1 // Измерит. техника. - 2010. - № 3. - С. 68-70.

Миронов В. Л. Основы сканирующей зондовой микросокпии : учеб. пособие для вузов / Ин-т физики микроструктур РАН (Нижний Новогород). - М. : Техносфера, 2004. - 144 с. - (Мир физики и техники). URL: <http://depositfiles.com/ru/files/26d6aiis0> (дата обращения: 29.04.2011).

Бахтизин Р. З., Галлямов Р. Р. Физические основы сканирующей зондовой микроскопии : учеб. пособие. - Уфа : РИО БашГУ, 2003. - 82 с.