ИССЛЕДОВАНИЕ ТОПОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ СИТАЛЛА МЕТОДОМ ПОЛУКОНТАКТНОЙ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ

Авторы

  • В. А. Алексеев Ижевский государственный технический университет
  • В. В. Бесогонов Институт прикладной механики Уральского отделения РАН
  • И. Н. Скворцова Институт прикладной механики Уральского отделения РАН
  • Н. А. Исcа Дамасский университет, Сирия
  • И. Мусса Дамасский университет, Сирия

Ключевые слова:

ситалл, сканирующая зондовая микроскопия, топология поверхности

Аннотация

Представлены результаты исследования топологии поверхности ситалловой подложки СТ-50-1 после воздействия на нее СО2-лазерного излучения. Получены трехмерные изображения с помощью сканирующего зондового микроскопа Solver P47 Pro в режиме полуконтактной атомно-силовой микроскопии. Проведен анализ полученных изображений.

Биографии авторов

В. А. Алексеев, Ижевский государственный технический университет

доктор технических наук, профессор, ученый секретарь; Ижевский государственный технический университет

В. В. Бесогонов, Институт прикладной механики Уральского отделения РАН

кандидат технических наук, старший научный сотрудник; Институт прикладной механики Уральского отделения РАН

И. Н. Скворцова, Институт прикладной механики Уральского отделения РАН

аспирант; Институт прикладной механики Уральского отделения РАН

Н. А. Исcа, Дамасский университет, Сирия

кандидат технических наук, доцент; Дамасский университет, Сирия

И. Мусса, Дамасский университет, Сирия

кандидат технических наук, профессор; Дамасский университет, Сирия

Библиографические ссылки

Бесогонов В. В., Скворцова И. Н. Прецизионный контроль топологии поверхности ситалловых подложек СТ 50-1 // Измерит. техника. - 2010. - № 3. - С. 68-70.

Миронов В. Л. Основы сканирующей зондовой микросокпии : учеб. пособие для вузов / Ин-т физики микроструктур РАН (Нижний Новогород). - М. : Техносфера, 2004. - 144 с. - (Мир физики и техники). URL: <http://depositfiles.com/ru/files/26d6aiis0> (дата обращения: 29.04.2011).

Бахтизин Р. З., Галлямов Р. Р. Физические основы сканирующей зондовой микроскопии : учеб. пособие. - Уфа : РИО БашГУ, 2003. - 82 с.

Загрузки

Опубликован

15.03.2011

Как цитировать

Алексеев, В. А., Бесогонов, В. В., Скворцова, И. Н., Або Исcа Н., & Мусса, И. (2011). ИССЛЕДОВАНИЕ ТОПОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ СИТАЛЛА МЕТОДОМ ПОЛУКОНТАКТНОЙ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ. Интеллектуальные системы в производстве, 6(1), 172–177. извлечено от https://izdat.istu.ru/index.php/ISM/article/view/1787

Выпуск

№ 1 (2011)

Раздел

Статьи